Skip to content

IMS 7f-Auto

Versatile SIMS Tool: Reference Detection Sensitivity with High Throughput & Full Automation
The IMS 7f-Auto is the latest version of our successful IMS xf Secondary Ion Mass Spectrometer (SIMS) product line. Designed to deliver high precision elemental and isotopic analyses with increased ease-of-use and productivity, it has been optimized for challenging applications such as glass, metals, ceramics, Si-based, III-V and II-VI devices, bulk materials, thin films... fulfilling industry requirements for efficient device development and process control.
  • Обзор продукта +


    Ключевые аналитические возможности для решения широкого спектра аналитических задач
    IMS 7f-Auto предоставляет непревзойденные возможности профилирования по глубине с высоким разрешением по глубине и высоким динамическим диапазоном. Масс-спектрометр с высокой трансмиссией объединен с двумя источниками активных ионов высокой плотности, O2+ и Cs+, таким образом, обеспечивая высокую скорость распыления и превосходные пределы обнаружения. Уникальная конструкция оптики позволяет работать как в режиме прямой ионной микроскопии, так и сканирующей микрозондовой визуализации.

    Улучшенная автоматизация и эффективность работы
    IMS 7f-Auto оснащен усовершенствованной линейной первичной колонной, облегчающей и ускоряющей настройку первичного пучка, а также оптимизирующей стабильность тока первичного пучка. Новые автоматизированные процедуры сводят к минимуму человеческий фактор и повышают простоту использования. Моторизованная камера хранения с автоматизированной загрузкой/выгрузкой держателей образцов обеспечивает высокую скорость анализа, используя последовательный анализ и дистанционное управление.

    Высокая воспроизводимость при высокой скорости анализа
    Благодаря новой моторизованной камере хранения и передаче образцов IMS 7f-Auto может анализировать несколько образцов последовательно или в дистанционном режиме. Измерения могут быть полностью автоматизированы и без надзора оператора с непревзойденной производительностью и воспроизводимостью. Можно достичь исключительной воспроизводимости (относительное стандартное отклонение (ОСО) < 0,5 %) при превосходных пределах обнаружения, высокой скорости анализа и производительности (устройство можно использовать 24 часа в сутки при минимальном участии оператора).
  • View recent webinars +

    • Using SIMS for materials development of high-performance solid oxide fuel cells

      среда, июля 20, 2022

      Katherine Develos-Bagarinao will present her most recent research projects on SOFCs using Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS) as a primary characterization tool.
      Duration: 27 minutes
    • Application of SIMS in Solar PV Research: The Role of Hydrogen in Crystalline Silicon Solar Cells

      среда, февраля 9, 2022

      In this webinar, Dr Di Kang will present results suggesting that, to achieve the highest passivation quality, an optimum amount of hydrogen surrounding the interfacial SiOx is needed, while insufficient or excess hydrogen can both lead to degradation of poly-Si passivation.
      Duration : 37 minutes
    • Dynamic SIMS for Semiconductors

      четверг, сентября 16, 2021

      A review of a broad array of IC applications with Dynamic SIMS, from deep to ultra-shallow implant depth profiling in Si-based semiconductors to compositional analysis of thin multilayers in patterned wafer pads, optoelectronics, 2D and non-planar 3D structures. Speaker: Pawel Michałowski, expert-user of CAMECA SC Ultra SIMS at Łukasiewicz Research Network – Institute of Microelectronics and Photonics, Poland
      Duration : 20 minutes
    • Optimization of the Detection Limits for Light Elements (H,C,O) using Dynamic SIMS

      среда, января 22, 2020

      This webinar focuses on the optimization of the detection limits for light elements (hydrogen, carbon, and oxygen atmospheric species) in silicon-based materials using dynamic SIMS. Information on H, C an d O low-level impurities introduced during processing and/or ageing is of major importance for a better understanding of semiconductor device lifetime and failure modes. Dynamic SIMS plays an important role in evaluating the concentration of impurities in solid samples because of its high sensitivity and depth profiling capabilities with high depth resolution and throughput, and the IMS 7f-Auto is designed to achieve optimized detection limits for light elements. Data presented in this webinar shows that significant improvement of H, C, and O detection limits in Si is achieved using the pre-sputtering method. Results obtained using multiple sample holders and the automated storage chamber are also presented.
      Duration : 25 minutes
    • Dynamic SIMS for Characterization of Nuclear Materials

      вторник, января 14, 2020

      In order to ensure longevity of structural nuclear materials and to improve knowledge on the mechanisms that occur during reactor accidents, it is of great importance to better understand diffusion and migration mechanisms of fission products in nuclear materials and fuel. To that purpose, SIMS analyses are performed on different materials after ion implantation with natural isotopes of high fission yield species (such as molybdenum, helium, xenon, iodine). Application of dynamic SIMS to the characterization of nuclear particles collected in nuclear facilities for safeguards purposes is also discussed.
      Duration : 30 minutes
    • The Principles of Dynamic SIMS

      понедельник, января 6, 2020

      This free on-demand webinar is an excellent introduction to the dynamic SIMS technique. Different practical aspects are discussed:
      • Choice of primary and secondary beam species
      • Relative sensitivity for various elements
      • Matrix effects
      • Depth resolution & Lateral resolution
      • Depth profiling (choice of impact energy & sputtering rate, calibration method)
      • Scanning ion imaging mode
      A summary of dynamic SIMS main analytical characteristics is provided at the end.
      Duration : 20 minutes
  • Узнать возможности, предоставляемые IMS 7f-Auto +

  • Скачать документацию +

  • видео +

  • Научные публикации +


    Таблица Excel со списком исследовательских работ, в которых использовались приборы IMS xf (IMS 3f, 4f, 5f, 6f, 7f, IMS 7f-Auto, IMS 7f-GEO). Статьи упорядочены по основным областям применения, как показано ниже, и легко доступны для поиска с помощью функций поиска слов в Excel:
    • Материалы
    • Геологические науки
    • Ядерные науки
    Загрузить электронную таблицу

    Свяжитесь с нами по адресу электронной почты cameca.info@ametek.com, если не можете получить доступ к некоторым pdf-файлам самостоятельно. Вы также можете отправить нам любые недостающие ссылки, pdf-файлы и дополнения!
  • Ссылки на пользователей IMS по всему миру +

  • Программное обеспечение +

    • WinCurve dataprocessing sofware
      WinCurve

      Разработанное специально для приборов ВИМС CAMECA, WinCurve предоставляет обширные возможности обработки и визуализации данных в простой в использовании среде.

      Продолжить чтение

    • WinImage Software
      WinImage II

      Разработанное специально для приборов ВИМС CAMECA, WinImage предоставляет обширные возможности визуализации, обработки и печати в среде ПК Windows.

      Продолжить чтение

    • APM Software
      APM

      Автоматическое измерение частиц (APM) – это программный прибор CAMECA, позволяющий выполнять быстрый скрининг, обнаружение и изотопный анализ миллионов частиц.

      Продолжить чтение

  • Комплекты для модернизации +

    Специально для пользователей IMS 6f: продлите срок службы вашего прибора с помощью нашей программы капитального ремонта IMS 6f:
    Ионные микрозонды IMS 6f — надежные, но старые приборы и электронные компоненты которых устаревают. Чтобы свести к минимуму риск длительных незапланированных простоев, CAMECA предлагает программу капитального ремонта IMS 6f, которая полностью омолодит прибор с помощью абсолютно новой электронной системы, насоса и вакуума, нового аппаратного обеспечения, полной автоматизации, удобного для пользователя программного обеспечения для сбора и обработки данных и т. д.
    Загрузить рекламный лист по обновлению IMS 6f-E7 для получения подробной информации об этом обновлении и его преимуществах с точки зрения эффективности, производительности, простоты использования и, конечно, времени безотказной работы и устойчивости.


    Для просмотра других доступных опций щелкните по одному из элементов ниже:
    Автоматизация и программное обеспечение
    Источники
    Шлюзовая камера
    Камера для образцов
    Оптическая система

    Автоматизация и программное обеспечение

    PC-Automation (6f/7f, оснащенный рабочей станцией SUN)
    Система автоматизации в ПК заменяет систему SUN, обеспечивает полную автоматизацию и автоматическую работу, а также значительно повышает производительность и эффективность. Для получения дополнительной информации загрузите рекламный лист по IMS 6f PC-Automation.

    Станция последующей обработки (6f/6f-E7/7f)
    ПК для автономной обработки данных (программное обеспечение CAMECA не входит в комплект).

    Дублирование рабочего стола (7f с PC-Automation/6f-E7)
    Управление прибором из операторной. Обеспечивает оптимизированный комфорт работы, когда лаборатория разделена на две части.

    Лицензия на программное обеспечение APM (6f с PC-Automation/6f-E7/7f с PC-Automation)
    Автоматическое измерение частиц — программное обеспечение, позволяющее выполнять быстрый скрининг большого количества частиц и обнаружение определенных элементов или изотопов. Дополнительная информация.

    Лицензия на программное обеспечение WinCurve (автономная работа) (6f/7f/6f-E7)
    Предлагает широкие возможности обработки и визуального отображения данных ВИМС. Дополнительная информация.

    Лицензия на программное обеспечение WinImage II (автономная работа) (6f/7f/6f-E7)
    Предлагает широкие возможности обработки изображений ВИМС. Дополнительная информация.

    Верх страницы

    Источники

    Изоляция источника иона Cs (7f с PC-Automation)
    Изоляция и прокачка источника микропучка цезия.

    Двойное ускорение/замедление (7f с PC-Automation)
    Система низкоэнергетических первичных ионов для источника дуоплазматрона.

    Верх страницы

    Шлюзовая камера

    Обновление камеры для хранения (7f с PC-Automation/6f-E7)
    Ручная камера для хранения с загрузочным шлюзом, предназначенная для хранения до шести держателей образцов в глубоком вакууме. Обеспечивает существенное повышение производительности для областей применения, которые зависят от лучших условий сверхглубокого вакуума (UHV). 

    Верх страницы

    Камера для образцов

    Z-Motion (7f с PC-Automation/6f-E7)
    Ручная настройка оси Z для предметного столика.

    Обновление Turbospectro (7f с PC-Automation/6f-E7)
    Турбомолекулярные насосы для масс-спектрометра (для замены существующих ионных насосов, оптимизированной скорости накачки в масс-спектрометре и повышенной изотопной чувствительности при использовании напуска кислорода).

    Цифровая видеокамера (7f с PC-Automation/6f-E7)
    Цифровая камера и светодиодная система иллюстрации образца (белый свет).

    Верх страницы

    Вторичная оптическая система

    Последующее ускорение детектора с электронным умножителем (EM) (7f с PC-Automation)
    Последующее ускорение для детектора с электронным умножителем . Повышает чувствительность при анализе тяжелых элементов и во время работы масс-спектрометра при низком напряжении вторичного извлечения (< 3 кВ).