Высокопроизводительные приборы ВИМС со сверхнизкой энергией для различных областей применения сложных полупроводниковых устройств: сверхмелкая и высокоэнергетическая имплантация, сверхтонкие оксидные слои, металлические затворы с высокой диэлектрической проницаемостью, SiGe, фотоэлектрические устройства, светодиодные устройства, графен
Продолжить чтение