Skip to content

Введение в ЭЗМА

EPMA technique schematic
ЭЗМА работает путем бомбардировки микрообъема образца сфокусированным электронным пучком (стандартная энергия = 5–30 кэВ) и сбора рентгеновских фотонов, излучаемых различными видами элементов. Поскольку длины волн данных рентгеновских лучей характерны для излучающих видов, можно легко определить состав образца путем записи спектров ВДС (волнодисперсионная спектрометрия). Волнодисперсионные спектрометры работают в соответствии с законом Брэгга и в качестве монохроматоров используют подвижные монокристаллы различной формы.
  • ЭЗМА – пример качественного и количественного метода неразрушающего анализа элементов в микронных объемах на поверхности материалов с чувствительностью в част./млн. Воспроизводимость рутинного количественного анализа в 1 % достигается за несколько дней. Это самый точный и достоверный метод микроанализа, который обеспечивает возможность исследования элементов от бора до урана и выше. 
  • ЭЗМА полностью поддерживает проведение стандартных анализов с простой и понятной интерпретацией результатов.
  • Оборудование ЭЗМА оснащено полным набором встроенных средств для микроскопии, которые позволяют одновременно выполнять рентгеновскую визуализацию (ВДС и ЭДС), визуализацию СЭМ и СОЭ (спектра обратнорассеянных электронов), а также сложной оптикой видимого света. Это позволяет совершать очень гибкую проверку образцов и увеличивать изображения от 40 до 400 000 раз.
  • Возможно определение толщины и элементного состава слоев толщиной от нм до мм в слоистых материалах.
Основные области применения – геохимия, минералогия, геохронология, физическая металлургия, атомная металлургия, материаловедение, микроэлектроника, биохимия, в том числе анализ стекла, керамики, сверхпроводников, цемента...

ЭЗМА обеспечивает гораздо лучшие результаты, чем стандартные системы СЭМ/ЭДС. Благодаря внутренним свойствам ВДС общая чувствительность, анализ легких элементов и риски ошибочной интерпретации качественных спектров намного выше при использовании ЭЗМА. Спектральное разрешение и время простоя детектора намного лучше, чем в случае использования ЭДС (энергодисперсионной спектроскопии). Система регулирования пучка накачки и усовершенствованные возможности предметного столика гарантируют, что данный метод обеспечит отличную стабильность и воспроизводимость измерений.

CAMECA: первопроходец и мировой лидер в области ЭЗМА

Метод ЭЗМА неотрывно связан с компанией CAMECA, поскольку именно CAMECA впервые реализовала его в промышленном масштабе. На основе своих исследований и тесного сотрудничества с профессором Р. Кастеном (R. Castaing) из Парижского университета компания CAMECA представила свой микрозонд MS85 на рынке уже в 1958 году. Мировое признание пришло быстро. С тех пор данный прибор претерпел множество улучшений и адаптацию к новым аналитическим задачам.

Более подробную информацию можно получить в нашей брошюре по ЭЗМА

Скачайте наши Инструкции по ЭЗМА: брошюру на 32 страницы, в которой представлена история и предпосылки для создания микрозонда, а также практическое введение в технику, информация о работе электронного микрозонда и несколько тематических исследований.