Основные принципы ЭЗМА позволяют выполнять элементный анализ микронных объемов на поверхности материалов с чувствительностью в масштабе част./млн.
Экранированный ЭЗМА создает безопасную среду для анализа радиоактивных образцов. Используется для оптимизации ядерного топливного цикла, удаления отходов, НИОКР в области конструкционных материалов