Skip to content

Метрологическое решение 3D FinFET (LEXES)

3D FinFET metrology with EX-300 LEXES Shallow Probe
Основанный на проверенной практикой спектрометрии рентгеновских лучей, вызванных низкоэнергетическим потоком электронов (LEXES), разрабатываемой компанией CAMECA в течение последних 15 лет, Shallow Probe EX-300 представляет собой универсальный метрологический прибор, способный поддерживать инновации на уровне 14 нм технологического процесса и далее, а также является наиболее подходящим устройством для определения характеристик новых устройств с трехмерной структурой, таких как P/A в n-FET и Ge/B в p-FET. Он помогает инженерам-метрологам в принятии важных решений и обеспечивает плавный переход при интеграции новых процессов N14/N10/N7, а также мониторинг последующего объема производства.

Неразрушающая, встраиваемая в линию технология, позволяющая осуществлять реальный мониторинг

За счет объединения вертикального неразрушающего малого электронного пучка (до 20 мкм), нечувствительный к геометрии структуры, и полностью автоматизированного интерфейса, LEXES может осуществлять измерения напрямую в OCD (SCD) подложках и контролировать пластины непосредственно в линии.

В отличие от других метрологических методов с применением рентгеновских лучей, таких как XRD, XRR или XRF, для которых необходимы плоские структуры больших размеров для обеспечения правильного вывода данных, LEXES может напрямую измерять дозу в 3D FinFET без дальнейшей неоднозначной обработки данных. Данный усовершенствованный метрологический прибор может контролировать изменения между одной 3D-подложкой и другой 3D-подложкой (оптимизация эффективности), а также между одной пластиной и другой пластиной (управление в производственной линии).

Кроме того, компания CAMECA оптимизировала EX-300 Shallow Probe для достижения великолепной точности обнаружения легких элементов, особенно для B (p-FET), где XRF и XPS не эффективны, а также для низких уровней дозы P (n-FET ), где XRD не чувствителен. Благодаря тонкой настройке энергии зондирования, EX-300 на основе LEXES является уникальным прибором, способным обнаруживать изменения состава бесконтактным образом от верхней до нижней части плавниковых затворов.

Благодаря возможности выполнять измерения в 3D-подложках, EX-300 существенно увеличивает добавленную стоимость композитной метрологии, так как связь между плоской подложкой и трехмерной структурой не является простой из-за больших эффектов нагрузки.

Надежная передовая метрология для обеспечения высокой эффективности новых и будущих технологических узлов

Shallow Probe представляет собой полностью автоматизированный прибор, способный обеспечить непрерывный мониторинг выбранных критических параметров в плоских или трехмерных структурах. Он обеспечивает настройку всех режимов на несколько вариантов дизайна продукта. Объединяя гибкость с надежностью, Shallow Probe предоставляет инженерам-технологам и инженерам-метрологам важную информацию, необходимую для простого обнаружения примеси и решения проблем химического состава на этапе предварительной подготовки.
Сегодня Shallow Probe является самым надежным партнером в области метрологии для разработки технологии FinFET, а также является очевидным лидером в контроле производства трехмерных устройств следующего поколения.