ВИМС
IMS 7f-Auto от CAMECA обеспечивает высокое (субмикронное) разрешение по плоскости — этот параметр очень важен для анализа материалов. Превосходные качества визуализации данного оборудования используются в исследованиях широкого спектра материалов: феномен диффузии в поликристаллических образцах, анализ поверхностных изображений в сплавах... $
Визуализация распределения ионов доступна в двух режимах:
- режим непосредственной визуализации распределения ионов («микроскоп») со скоростью получения изображений до тысячи раз выше, чем у сканирующего ионного микрозонда (все пиксели получаются параллельно). Оптимизировано под картирование «больших» областей;
- режим сканирующей визуализации распределения ионов («микрозонд») с субмикронным разрешением по плоскости с пучками O2+ и Cs+. Предназначен для анализа малых областей.
Анализ малых областей: измерения в глубину и по плоскости.
Анализ малых областей в структуре провода Sn/Cu: рисунки слева были получены из разных образцов в режиме микрозонда.
При помощи ПО
WinImage от CAMECA можно получить ретроспективный профиль по глубине. На примере выше профиль по глубине (справа) был получен из ионных изображений (центральная область, слева), которые были последовательно записаны во время распыления в глубину. Следует обратить внимание на высокий динамический диапазон в режиме визуализации.